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一種大尺寸高性能氧化鈮靶材的制備方法
本發(fā)明經(jīng)過本局依照中華人民共和國專利法進(jìn)行審查,決定授予專利權(quán),頒發(fā)本證書并在專利登記簿上予以登記。專利權(quán)自授權(quán)公告之日起生效。本專利的專利權(quán)期限為二十年,自中請日起算。專利權(quán)人應(yīng)當(dāng)依照專利法及其實(shí)施細(xì)則規(guī)定繳納年費(fèi)。
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